중요한 응용 분야를 위한 고순도 가스 압력 제어

고순도 가스 압력 조절기는 업스트림 공급 압력을 정의된 다운스트림 작동 수준으로 줄입니다. 그 성능은 조절기 설계, 입구 압력, 필요한 출구 압력, 가스 흐름, 밀봉 구조 및 모든 가스 접촉 재료의 호환성에 따라 달라집니다.

반도체 응용 분야의 경우 스테인리스강 본체 또는 공칭 출구 압력만을 기준으로 레귤레이터를 선택하면 중요한 요구 사항이 해결되지 않을 수 있습니다. 다이어프램, 밸브 니들, 시트 및 씰도 실제 가스 및 작동 조건에 대해 평가해야 합니다.

• 특정 가스 공급 요구 사항에 대한 다이어프램 유형 압력 조절.
• 구성에 따라 316L 및 VIM+VAR 316L 스테인리스강 본체 옵션.
• 다양한 서비스 요구 사항에 맞게 내부 구성 요소 및 밀봉 재료 옵션을 선택했습니다.
• 시스템 통합을 지원하는 다중 압력 게이지 및 연결 구성.

반도체급 고순도 감압기

반도체급 고순도 감압기는 전체 가스 전달 시스템의 요구 사항에 따라 선택됩니다. 재료 호환성, 밀봉 성능, 내부 표면 마감 및 작동 압력은 독립적인 사양으로 처리되기보다는 함께 평가되어야 합니다.

사용 가능한 U 및 X 시리즈 구성은 정의된 고순도 가스 응용 분야를 지원합니다. 선택한 모델에 따라 옵션에는 316L 또는 VIM+VAR 316L 스테인리스강 본체, 지정된 다이어프램 및 밸브 니들 재질, 다양한 밀봉 구조가 포함됩니다.

특수 내부 재료가 필요한 응용 분야의 경우 선택된 구성은 UNS N06022 또는 UNS N10276 옵션을 제공합니다. 해당 모델에는 PCTFE 및 PI 밀봉재도 제공됩니다. 최종 재료 선택은 실제 가스, 온도, 압력 및 작동 조건을 기반으로 해야 합니다.

선택 참고사항:모든 특수 가스에 적합한 단일 재료 조합은 없습니다. 부식성, 독성, 가연성 또는 산화성 서비스용 조절기를 지정하기 전에 모든 접액 구성 요소의 호환성을 확인하십시오.

조달팀을 위한 품질 중심

검사 요구 사항은 선택한 모델 및 구매 사양에 맞춰 조정할 수 있습니다. 고객은 주문 확인 전에 필요한 누출 기준, 청결도 기대치, 테스트 문서화 및 추적성 요구 사항을 확인할 수 있습니다.

반도체 가스 전달 시스템의 응용

고순도 가스 압력 조절기는 압력 제어, 가스 호환성 및 청결이 시스템 작동에 중요한 가스 공급 및 분배 장비에 사용됩니다.

• 반도체 가스 캐비닛:호환 가능한 소스 가스 응용 분야를 위한 압력 감소.
• 밸브 매니폴드 박스(VMB):적절한 압력 및 연결 사양으로 가스 분배 어셈블리에 통합됩니다.
• 밸브 매니폴드 패널(VMP):구성된 가스 공급 레이아웃의 압력 조절.
• 대량 특수 가스 시스템(BSGS):적용 가능한 가스 분배 요구 사항에 맞게 선택된 구성입니다.
• 고순도 공정 가스 라인:가스, 작동 압력, 유량 요구 사항 및 청결도 요구 사항을 기반으로 레귤레이터를 선택합니다.

최종 적합성은 실제 가스 구성, 작동 조건, 시스템 설계 및 확인된 모델 호환성에 따라 달라집니다.

고순도 가스압력조절기란?

고순도 가스 압력 조절기는 가스 호환성, 밀봉 성능 및 청결 요구 사항을 해결하면서 공급 압력을 정의된 다운스트림 작동 수준으로 줄입니다. 반도체 응용 분야에는 제어된 표면 마감, 청소, 조립 및 제품 테스트가 필요할 수 있습니다.

반도체급 고순도 감압기를 선택할 때 무엇을 확인해야 하나요?

공정 가스, 최대 입구 압력, 필요한 출구 압력, 흐름 수요, 젖은 재료, 연결 인터페이스, 누출 허용 기준 및 청결 요구 사항을 확인하십시오. 최종 구성은 의도한 서비스와 호환되어야 합니다.

VIM+VAR 316L 스테인리스 스틸을 선택하는 이유는 무엇입니까?

VIM+VAR 처리는 재료 청결도를 개선하고 함유물을 제어하기 위한 추가 재료 정제 경로를 제공합니다. 응용 분야에 향상된 재료 품질이 필요한 경우 고려할 수 있습니다. 적절한 등급은 시스템 사양 및 조달 요구 사항에 따라 결정되어야 합니다.

외부 누출과 내부 누출의 차이점은 무엇입니까?

외부 누출은 레귤레이터에서 주변 환경으로 가스가 빠져나가는 것을 의미합니다. 내부 시트 누출은 닫힌 조절 시트를 통과하는 가스를 의미합니다. 이는 별도의 성능 특성이며 별도의 테스트 기준이 필요할 수 있습니다.

다른 압력 게이지와 연결을 지정할 수 있습니까?

적용 가능한 구성은 다양한 압력 게이지 범위와 연결 옵션을 제공합니다. 가용성은 선택한 시리즈 및 모델에 따라 다릅니다. 확인을 위해 필요한 게이지 범위, 포트 크기 및 연결 인터페이스를 제공하십시오.

견적을 요청하려면 어떤 정보가 필요합니까?

가스 유형, 입구 및 출구 압력, 필요한 흐름, 접액 재료 요구 사항, 연결 세부 정보, 작동 온도, 누출 테스트 기준, 청결 요구 사항 및 예상 수량을 제공합니다. 기술 데이터시트나 시스템 도면도 ​​필요한 구성을 명확히 하는 데 도움이 될 수 있습니다.